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二、技術(shù)規(guī)格及參數(shù)

   測(cè)試量程：

VMSE2010:200*100*200mm  重量：170kg

VMSE3020:300*200*200mm  重量：230kg

          VMSE4030:400*300*200mm  重量：330kg

VMSE5040:500*400*200mm  重量：430kg

玻璃臺(tái)承重：15kg

X/Y軸精度（um）：≤3+L/200（L為被測(cè)長度單位mm）

Z軸精度（um）：≤3+L/100（L為被測(cè)長度單位mm）

物鏡焦距：82mm

最小顯示值：0.1um

物鏡倍率：0.7-4.5X

顯示器綜合放大倍率（23寸）：約37-237X（可加配2X物鏡，或0.5X目鏡）

控制系統(tǒng)：CNC閉環(huán)控制系統(tǒng)

光源系統(tǒng)(手動(dòng))：表面光源與透射光源均用LED，亮度可調(diào)

操作系統(tǒng)：WIN7/WIN10

主機(jī)材質(zhì)：采用00級(jí)天然大理石（分體式）

電腦：專用電腦

軟件：INSPEC 2D

光柵尺：金屬光柵尺1.0um

導(dǎo)軌：高精度交叉導(dǎo)軌

CCD相機(jī)：80W像素模擬相機(jī)

激光筆：點(diǎn)紅光（測(cè)量時(shí)找樣品位置用）

選配件：Z軸探針、同軸光。